21世紀版 薄膜作製応用ハンドブック

 
商品説明
 説明
内容（「MARC」データベースより）
重要な薄膜技術および評価技術、広い分野の各種産業への応用をわかりやすく、実務的に解説。薄膜材料の特性と特徴、薄膜の作製と加工、薄膜・表面・界面の分析と評価、薄膜技術の応用と展望を述べる。95年刊の21世紀版。
著者略歴(「BOOK著者紹介情報」より)
権田/俊一
大阪大学名誉教授・福井工業大学教授(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
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